Chùa Tây Phương tên chữ Sùng Phúc Tự, tọa lạc trên núi Tây Phương, xã Thạch Xá, huyện Thạch Thất. Chùa được xây từ đời Cao Biền (865-875). Vào niên hiệu Chính Hoà (1680-1705), Tây Vương Trịnh Tạc cho sửa chữa lại chùa và xây tam quan. Sau đó chùa bị phá. Ngôi chùa còn đến ngày nay được xây lại trên nền chùa cũ vào khoảng 1788-1789 dưới triều Tây Sơn. Trong chùa hiện còn chuông đồng đúc năm Bính Thìn (1796). Chùa gồm ba toà xếp thành chữ “tam” (三), nhưng không nối liền mà mỗi toà cách nhau một quãng. Thềm toà nọ cách thềm toà kia là 1m60, nên nội thất mỗi toà đều được chiếu sáng. Nghệ thuật trang trí kiến trúc chùa được biểu hiện qua đề tài: rồng, phượng, hoa lá ở trên các vì, xà... với kỹ thuật chạm bẹt (chạm nông). Các góc đầu đao mái chùa Tây Phương cong vút, trông rất đẹp mắt. Tượng chùa Tây Phương là những di sản quý giá bao gồm tượng Phật, tượng các vị tổ. Tổng cộng có tới 62 tượng. Trong đó có 18 tượng La Hán được tạo tác tinh vi.